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| QCM − 水晶発振子マイクロバランス ( Quarts
Crystal Microbalance ) |
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QCM水晶センサーとは、水晶振動子の電極表面に物質が付着するとその質量に応じて共振周波数が変動する(下がる)
性質を利用し極めて微量な質量変化を計測する質量センサーです。
Quarts Crystal
Microbalance
( 水晶天秤
)
の略です。 膜厚計(蒸着モニタなど)にも利用されています。
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